创意无极限，仪表大发明，今天为大家介绍一项国家发明授权专利——磁传感器芯片，磁传感器及其制作方法，该专利由公司申请，并于2017年2月22日获得授权公告。

　　内容说明。

　　本发明涉及一种磁传感器芯片，磁传感器及其制作方法。

　　发明背景。

　　磁传感器即是借助敏感单元对磁变化的敏感作用，将敏感单元的磁性能变化转换成电信号，再通过测量电信号获得对应地磁场，电流，应力应变，温度或光等物理量。

　　随着技术的进步，具有低功耗，体积小，响应快，分辨率高，稳定性好，可靠性高等诸多优点的磁传感器芯片作为磁传感器的核心部件，而且，磁传感器芯片使得磁传感器在磁信息存储，自动化，物联网以及智能电网等领域展示了广阔的应用前景，表现出十分优异的性能。

　　由于制作工艺的不均匀，磁敏感薄膜单元11a，11b的阻值不能完全对称，使得磁敏感薄膜单元11a，11b的磁性能存在差异，从而导致磁传感器的的磁滞现象严重，即磁滞较大且不同，霍尔电流传感器。

　　另外，磁敏感薄膜单元11a，11b的电阻值会随环境的温度的变化而变化，而且变化量因制作工艺的不均匀性而不同，即磁敏感薄膜单元11a和磁敏感薄膜单元11b的温漂差异大，这对磁传感器的稳定性及温漂特性造成了巨大的影响，同时降低了磁传感器的灵敏度。

　　发明内容。

　　本发明要解决的技术问题就是针对磁传感器机中存在的上述缺陷，提供一种磁传感器芯片，磁传感器及其制作方法，其减小甚至消除了磁滞现象，而且提高了温漂特性和敏度。

　　为解决现有技术中存在的上述缺陷，本发明提供一种磁传感器芯片，包括至少一对相互独立的磁敏感薄膜，在所述磁敏感薄膜的端部设有用于电连接所述磁敏感薄膜的第一电极，在每一对所述磁敏感薄膜中，至少一个所述磁敏感薄膜通过所在端的第一电极与一可调电阻电连接，所述磁敏感薄膜，所述第一电极和所述可调电阻电连接构成惠斯通电桥电路，所述可调电阻用于调节所述可调电阻所在惠斯通电桥电路的支路的总电阻，以使霍尔电压传感器得惠斯通电桥电路中对臂电阻相互平衡。

　　其中，包括一对所述磁敏感薄膜，该对所述磁敏感薄膜的钉扎方向相反，借助所述第一电极将所述磁敏感薄膜电连接成惠斯通半桥电路。

　　1，测量精确，最高可达0.3%。

　　2，测量过程无机械接触，无磨损，可靠性高。

　　3，可现场外部校准零点，满量程。

　　4，对于不同尺寸，不同体积的油箱的油位校准，可根据需要现场截断，适用范围宽。

　　5，智能化数字信号输出，可与上位机通讯。

　　6，防爆性能高，可根据防爆要求制作成本安型，隔爆型产品，适用于各种危险场所。

　　7，耐冲击抗震动，寿命长：内部采用微型隧道技术，装有独特避震器，轻松应。

　　对颠簸路况，（传统为浮子杠杆结构，颠簸路况极易致命损坏）。

　　8，传感器顶部为螺纹结构可安装法兰，对于大型车则有标准尺寸的一体化机构，无需变动油路和电路接口，可直接替换安装，安装维护简便，产品可满足高温，高压及振动场合需要，无需定期维护与标定。

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